反射分光式膜厚計
ハードコーティングやARなど光が透過する膜の厚さ測定には、反射分光式膜厚計をお勧めです。反射分光式膜厚計は、光干渉式膜厚計や光学式膜厚測定機などとも呼ばれ、透明薄膜表面の反射と裏面の反射による干渉を利用し非接触で膜厚を測定する手法です。
【仕組み】
サンプルに光を照射すると膜厚に依存した特有のスペクトルを示します。膜表面で反射した光と膜内を通過し基板表面で反射した光が、互いに干渉を起こします。光の位相が一致すると強度が強まり、ずれると弱まります。反射分光法は、このスペクトルを解析することにより膜厚を測定する方法です。
【メリット】
・SEMや触針式段差計と異なり、非接触で測定が可能。
・エリプソメーターに比べ、安価で使いやすい。
将来的に量産装置に取り付けることも可能です。
装置仕様
| 型式 | AFW-100W |
|---|---|
| 用途 | 一般膜厚用 |
| 装置構成 | ユニット本体、測定スタンド、2分岐ファイバー（1.5m）、PC、膜厚測定サンプル |
| 測定波長範囲 | 380～1050nm |
| 膜厚測定範囲 | 100nm～1μm（C/F） |
| 1μm～60μm(FFT) | |
| 計測再現性 | 0.2%～1%(膜質依存による) |
| 測定スポット径 | 約7mm |
| 光源 | 12V-50W ハロゲン |
| 測定理論 | カーブフィッティング法 / FFT法 |
| 外形寸法 (mm) | 測定スタンド：W150×D150×H115 |
| 本体 ：W230×D230×H135 | |
| 概算重量 | 5.5kg ※PCを除く |
| ユーティリティ | AC100V 50/60Hz |
| 消耗品 | ハロゲンランプ |
| 定価 | ¥3,300,000- （消費税別） |
測定事例
測定ワークサイズ
センサー直下からの最大奥行きサイズ（黄色矢印）：126mm
8インチウエハーまで測定可能です。
顕微鏡式分光膜厚計
| 名称 | 顕微鏡式分光膜厚計 |
|---|---|
| 型式 | AFW-100BX |
| 装置構成 | 顕微鏡、ユニット本体、ファイバー（1m）、PC、膜厚測定サンプル |
| 顕微鏡 | オリンパス社製金属顕微鏡 |
| 測定波長範囲 | 380～900nm |
| 膜厚測定範囲 | 50nm～1.5μm(C/F) |
| 1.5μm～50μm(FFT) | |
| 計測再現性 | 0.2%～1%(膜質依存による) |
| 測定スポット径 | Φ6μm～Φ120μm |
| 光源 | 12V-100W ハロゲン |
| 測定理論 | カーブフィッティング法 / FFT法 |
| 外形寸法 (mm) | 顕微鏡：W317.5×D602×H480 |
| 本体 ：W230×D230×H135 | |
| 概算重量 | 25kg ※PCを除く |
| ユーティリティ | AC100V 50/60Hz |
| 消耗品 | ハロゲンランプ |
顕微鏡を用いる事で、従来では測定出来なかった凹凸のある電子部品や曲面レンズに対して測定することが可能になりました。
